無塵室有很多設備以維持室內的潔凈。其中包含FFU、空氣除濕機、溫濕度計、交換倉、稀奇到關于集塵器、靜電風扇等設備。我們對無塵室微粒子濃度進行控制，要通過人、機、料進無塵室不攜入微粒子；無塵室內動態環境下機、料的不發生控制等方面來把控。下文是關于無塵室的設備，以及如何把控微粒子濃度。

一、無塵室包含哪些設備

1、FFU可模塊化連接使用，使得FFU廣泛應用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產線、組裝式無塵室和局部百級等應用場合。FFU設有初、高效兩級過濾網。風機從FFU頂部將空氣吸入并經初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面0.45M/S±20%的風速勻速送出。

2、它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、微環境提供高質量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中，即可提高潔凈度級別，降低噪音和振動，也可大大降低造價，安裝維護方便，是潔凈環境的理想部件。

2、自動化與無塵化

（1）設立自動化傳送系統，可減少職員方面所帶來的污染，唯用度相當昂貴，須詳加評估。

（2）建立管制項目如進進無塵室職員的資格限定，無塵室作業職員作業規則，無塵室治理規則等。

3、空氣除濕機

除濕機又稱為抽濕機，一般可分為家用除濕機和工業除濕機兩大類 ，屬于制冷空調家庭中的一個小成員。通常，除濕機由壓縮機、熱交換器、風扇、盛水器、機殼及控制器組成，其工作原理是:由風扇將潮濕空=氣抽入機內，通過熱交換器，此時空氣中的水份冷凝成水珠，變成干燥的空氣排出機外，如此循環使室內濕度降低。

4、溫濕度計

用來測定環境的溫度及濕度，以確定產品生產或倉儲的環境條件。也應用于人們日常生活。應用較為廣泛。當空氣中有很多水氣時， 我們說空氣是潮濕的。

5、交換倉

室內物品與室外物品交換放置的地方，它里面有恒定的氣流，可以清除放入部品表面的灰塵異物。

6、吸氣導管與集塵器

主要用于吸取生產過程中產生的灰塵異物，收集并保存異物，方便分析異物成分，有效的去控制無塵室內異物的進入渠道。

7、靜電風扇

通過靜電風扇可以吹干凈長時間放置的部品表面上的灰塵異物。

8、隱形膠帶

可以粘取部品表面的異物并且不會留下任何粘合劑。

9、進口特殊橡皮泥.

在生產中用螺絲刀打螺絲，螺絲刀頭上會產生鐵屑，粘取在橡皮泥上就可以有效的使螺絲刀頭上保持清潔。

二、如何對無塵室微粒子濃度進行控制

1、 不攜入 :人、機、料進無塵室不攜入微粒子

(1)進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再通過風淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完畢才能進入無塵室。

(2)機器、材料進無塵室前，應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭，經貨淋室吹淋或風淋傳遞窗吹淋后才能進入無塵室。

(3)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有空氣過濾器的排氣用小型過濾單元于腰間。

2、不發生 :無塵室內動態環境下機、料的不發生控制

在控制最大污染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發塵量。因物品在移動時，所產生 的摩擦及接觸剝離會造成發塵，而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到最小限度應采取以下對策：

(1)減少接觸剝離發塵的動作形態;

(2)采用磨耗發塵小的材質;

(3)采用發塵小的潤滑油;

3、不儲備

（1）現實中人和物品的頻繁出入及機臺的掣動(動態)，無塵室要想達到動態潔凈級別，因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。

（2）控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品材料，并藉由除電裝置進 行除電。

4、排除/除去

（1）在無法避免大量微粒子發生的機臺中，為了不讓無塵室內產生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。

（2）由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。

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