無塵車間即凈化車間,凈化車間,亦稱為無塵室或潔凈室。它是污染控制的基礎。沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間可以分為以下幾個級別:
1級:這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業,對集成電路的精確要求為亞微米。
10級:這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。
百級:很多人認為,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求,100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用于,植如體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術后的隔離治療。
千級:這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等。
萬級:萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用。
10萬級:十萬級無塵車間用于很多的工業部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的制造,食品飲料的生產,醫藥工業也常常使用這一級無塵車間。
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