無塵車間等級標準主要依據換氣次數,塵埃粒子、微生物、溫濕度、壓差等因素劃分,常見等級有百級、千級、萬級、十萬級以及三十萬級等,對于無塵車間等級標準的劃分國內外的規定有所不同,具體看下面4個表。
1、美國聯邦標準無塵車間級別(見表1)
ISO-146441-1 |
FED STD |
209E |
CLASS |
Number of Par Cubic Meter by Micrometer Size |
|||||
ISO Class |
English |
Metric |
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
|
m3 |
m3 |
m3 |
Ft3 |
m3 |
|||||
1 |
ISO1 |
10 |
2 |
||||||
2 |
ISO2 |
100 |
26 |
10 |
4 |
||||
3 |
1 |
M1.5 |
ISO3 |
1000 |
265 |
106 |
35 |
||
4 |
10 |
M2.5 |
ISO4 |
10000 |
2650 |
1060 |
10 |
353 |
|
5(百級) |
100 |
M3.5 |
ISO5 |
100000 |
26500 |
10600 |
100 |
3530 |
29 |
6(千級) |
1000 |
M4.5 |
ISO6 |
1000000 |
265000 |
106000 |
1000 |
35300 |
293 |
7(萬級) |
10000 |
M5.5 |
ISO7 |
10000 |
353000 |
2930 |
|||
8(十萬級) |
100000 |
M6.5 |
ISO8 |
100000 |
3530000 |
29300 |
|||
9 |
ISO9 |
1000000 |
35300000 |
293000 |
表1
2、國家標準無塵車間級別(見表2)
空氣潔凈度等級(N) |
大于或等于表中粒徑的最大限值(pc/m3) |
|||||
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
|
1 |
10 |
2 |
||||
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
4(十級) |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
5(百級) |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
6(千級) |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
7(萬級) |
352000 |
83200 |
2930 |
|||
8(十萬級) |
3520000 |
832000 |
29300 |
|||
9(一百萬級) |
35200000 |
8320000 |
293000 |
表2
3、醫藥行業無塵車間等級標準(見表3)
ISO 14644-1標準 |
GMP標準 |
手術室標準 |
懸浮粒子最大允許數/立方米 |
|||||
≥0.1um |
≥0.2um |
≥0.3um |
≥0.5um |
≥1um |
≥5um |
|||
1 |
10 |
2 |
||||||
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||||
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|||
4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|||
5(百級) |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
||
A級 |
空氣塵埃粒子的級別為ISO 4.8 |
靜態3520 |
靜態20 |
|||||
動態3520 |
動態20 |
|||||||
I級 |
特別潔凈手術室的手術區 |
|||||||
B級 |
空氣塵埃粒子的級別為ISO 5 |
靜態3520 |
靜態29 |
|||||
6(千級) |
1000000 |
237000 |
120000 |
35200 |
8320 |
293 |
||
I級 |
特別潔凈手術室的手術區的周邊區 |
|||||||
Ⅱ級 |
標準潔凈手術室的手術區及其周邊區 |
|||||||
7(萬級) |
352000 |
83200 |
2930 |
|||||
B級 |
空氣塵埃粒子的級別為ISO 7 |
動態352000 |
動態2930 |
|||||
一般潔凈手術室的手術區 |
||||||||
C級 |
空氣塵埃粒子的級別為ISO 7 |
靜態352000 |
靜態2930 |
表3
4、藥廠潔凈室ABCD四個等級(見表4)
空氣潔凈度等級 |
小于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3) |
||||||
ISO標準 |
中國標準 |
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
1級 |
10 |
2 |
|||||
2級 |
一級 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
3級 |
五級 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
4級 |
十級 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
5級 |
百級 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
6級 |
千級 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
7級 |
萬級 |
352000 |
83200 |
2930 |
|||
8級 |
十萬級 |
3520000 |
832000 |
29300 |
|||
9級 |
三十萬級 |
35200000 |
8320000 |
293000 |
表4
以上內容是對“無塵車間等級標準劃分,國內外對比有何不同”的介紹,更多精彩內容請關注本站!
A: 在芯片制造領域,無塵車間的裝修至關重要,但高昂的成本也常常讓企業頭疼。貞齊凈化作為專業的裝修公司,在芯片…
A: 芯片制造對環境的潔凈度要求極高,百級潔凈芯片車間的裝修更是一項復雜而精細的工程。貞齊凈化作為專業品牌,在…
A: 微電子無塵車間裝修設計需要綜合考慮多方面因素,以確保達到極高的潔凈度和滿足微電子生產的特殊要求。以下是關…
A: 生物制藥凈化車間的消殺是一個復雜而關鍵的任務。通過合理的清潔程序、選擇適當的消毒劑、空氣凈化系統、清潔驗…